型号:
GSP-610P
【说 明】 |
应用于芯片单面抛光设备,具备自动化盘面修整系统,可依制程需求,应对不同尺寸及材料加工 |
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【特 点】 |
盘面自动循沟系统,延长抛光盘寿命 |
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工作轴搭配独立马达,增加制程稳定性 |
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盘面温度监控系统,提升产品品质 |
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自动化程式控制,功能扩充性灵活 |
【应用范围】
蓝宝石
Sapphire |
碳化矽
SiC |
砷化镓
GaAs |
矽
Silicon |
氧化铝
AlN |
氧化锌
ZnO |
磷化物
GaP |
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【适用尺寸】
2" |
2.5" |
3" |
4" |
5" |
6" |
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【关键字】 |
自動精密拋光機 / 自动精密拋光机 / Automatic Precision Polishing Machine |
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